單晶硅微電子行業(yè)用的反滲透純水設(shè)備簡析
單晶硅是一種半導(dǎo)體材料,可用于制造集成電路和半導(dǎo)體器件。它屬于非金屬元素。諸如探測器級單晶硅、電路級單晶硅和大功率晶體管等電力電子器件,可以使用單晶硅。在微電子工藝中,需要有要求的純水,如果工業(yè)純水的水質(zhì)要求不符合要求,產(chǎn)品的使用將受到不同程度的影響。
反滲透純水設(shè)備可根據(jù)電子行業(yè)對純水質(zhì)量的要求進(jìn)行劃分。純水水質(zhì)電阻率可細(xì)分為0.5MΩ.cm、2MΩ.cm、10MΩ.cm、15MΩ.cm、18MΩ.cm、18.2MΩ.cm等之間。
電子純水處理設(shè)備主要由預(yù)處理系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電脫鹽系統(tǒng))系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)等結(jié)構(gòu)組成。預(yù)處理系統(tǒng)可根據(jù)當(dāng)?shù)卦|(zhì)采用鈉離子軟化器、精密過濾器、多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器等工藝。
單晶硅微電子離子交換技術(shù)工藝流程:原水→ 多介質(zhì)過濾器→ 活性炭過濾器→ 精密過濾器→ 中間水箱→ 反滲透設(shè)備→ 混床→ 超純水儲罐→ 超純水泵→ 保安過濾器→ 用水點。
預(yù)處理工藝采用反滲透技術(shù),其次是離子交換技術(shù)。優(yōu)點是離子設(shè)備的再生周期相對較長,酸堿消耗遠(yuǎn)低于單獨使用離子樹脂。
上述是用于微電子行業(yè)水處理設(shè)備的水處理工藝之一。如果您想了解其他水處理工藝,可以到君浩環(huán)保進(jìn)行詳細(xì)方案查詢。
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