一、半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備工作原理

①　一般通過陽陰離子交換樹脂取得的去離子水，出水電導(dǎo)率可降到10us/cm以下，再經(jīng)過混床就可以達(dá)到1us/cm以下了。但是這種方法做出來的水投入高，而且顆粒雜質(zhì)太多，達(dá)不到理想的要求。目前已較少采用了。

②　預(yù)處理(即砂碳過濾器+精密過濾器)+反滲透+混床工藝這種方法是目前采用很多的，因?yàn)榉礉B透投資成本也不算高，可以去除90%已上的水中離子，剩下的離子再通過混床交換除去，這樣可使出水電導(dǎo)率：0.06左右。這是目前流行的方式。

③　前處理與第二種方法一樣使用反滲透，只是后面使用的混床采用EDI連續(xù)除鹽膜塊代替，這樣就不用酸堿再生樹脂，而是用電再生。保證過程無污染，經(jīng)過去離子水設(shè)備處理后的水質(zhì)可達(dá)到15M以上。但這這種方法的前期投資比較多，運(yùn)行成本低。

二、半導(dǎo)體用去離子水設(shè)備處理過程

先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)，然后高壓通過反滲透膜，分離出溶劑與溶液。很后一般還要經(jīng)過一步紫外殺菌以去除水中的微生物。假如此時電阻率還沒有達(dá)到要求的話，可以再進(jìn)行一次離子交換過程，有時電阻率可達(dá)到18兆。半導(dǎo)體行業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水。

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